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高精度恒温恒湿洁净空调,超高精空调机

栏目:知识百科 编辑:CEO 来源:网络 热度:0 日期:2023-12-30 12:48:08
信息摘要:
佛山市佳以特冷热设备有限公司从高精度、可靠性、节能性入手;研发生产出具有自主知识产权(国家专利号:ZL.6)的高精度空调、高精度恒温恒湿洁净空调,提供稳定的温度T±0.08℃(T=18-25℃),湿度RH±1%(RH=45-60%

高精度恒温恒湿洁净空调,超高精空调机

高精度恒温恒湿洁净空调,超高精空调机

  佛山市佳以特冷热设备有限公司从高精度、可靠性、节能性入手;研发生产出具有自主知识产权(国家专利号:ZL.6)的高精度空调、高精度恒温恒湿洁净空调,提供稳定的温度T±0.08℃(T=18-25℃),湿度RH±1%(RH=45-60%)的高精度空调;高精度冷水机组和温度T±0.1℃(T=10-25℃);超高精度空调产品、超高精度冷水机组及其系统的整体解决方案。

  佛山市佳以特冷热设备有限公司开发了先进人工智能模糊控制系统;高精度冷、热源平衡控制系统、高精度恒温加湿系统,空气洁净过滤系统HEPA,均取得国家专利保护。具有控制精度高,正常情况下能在设置温度±0.1℃内的变化;从开机到温度平衡稳定运行时间短;对空调进风温度变化要求低(进风±2℃/H的情况下出风口温度能控制在±0.1℃/H内),利用专利热回收技术,对温度进行调控,相比采用电加热可控硅控制普通高精度空调耗电极底,确保高精度空调长期可靠稳定运行,机身采用304镜面不锈钢机壳满足对室内高级别洁净度的需求。

  佳以特高精度恒温恒湿空调应用于光学传感器制造与测试环境,金属纳米级加工环境;高精密测量;半导体光刻机,LDI曝光、涂布等工艺环节;也可以用于:涂胶显影机,电子束曝光;液晶等离子面板制造等各个行业领域,佳以特冷热设备有限公司为客户量身定制,OEM服务。

  详细资料请联系:;王先生

  

  1、光刻机专用空调机

  2、涂胶显影专用空调机

  3、LDI曝光机专用空调机

  测试结果:温湿度控制曲线照片:

  备注:绿色线为监控曲线,红色线为出风温度曲线

  备注:绿色线为监控曲线,红色线为出风温度曲线

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